寻觅书屋 通过搜索各大小说站为您自动抓取各类小说的最快更新供您阅读!

光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。

最早的光刻技术出现于1822年,起初是法国人Joseph Nicephore niepce(涅普斯)试图复制一种刻蚀在油纸上的印痕。他先将油纸放在一块玻璃片上,在上面涂满了一种在植物油中溶解的沥青,经过一段时间的暴晒之后,透光部分的沥青就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。

这项发明出现的很早,将其使用于制造印刷电路板却已经是100多年后的故事了。

也就是二十世纪末。

随着发展,光刻机需要的光源波长,一降再降。

从二十世纪90年代开始,光刻机竞争的主战场成为了光源波长的竞争。

光源波长从365nm降低到了193nm,对应的制程也从800~250nm减小到130~65nm。

随着摩尔定律的推进,下一个节点157nm波长的光源却一直没做出来。

到了2002年7月,才有台积电的林姓博士在布鲁塞尔举办的157nm微影技术研讨会上提出了“浸润原理”的专题演讲。

在传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,林本坚提出的这种方法就是在光刻胶上方加一层水,利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率,这个方法后来被称为“浸没式光刻”,采用这种方法能够在不改变光刻机波长的情况下做出等效134nm的波长。

唐缺要弄的,也就是这个浸没式光源。

最好,是能在阿斯麦之前,做出浸没式光刻机。

确定了方案之后,两家欢喜,十几家愁。

他们都知道,如果这两个实验室真的建起来,相关专业的教授,有福了。

论文不愁。

科研经费,估计也不愁了。

唐缺单独了留下了那个光学相关的教授。

黄权坚。

“你对光刻机的光源知道多少?说一说。”

黄权坚推了推眼镜,简单说了说,基本就是上面的那些情况,唐缺都了解。

黄权坚又道:“现在是波长193nm的光源,按照定律,下一个是157nm的波长光源。听说尼康现在正在研究,你打算让我研究这个吗?”

他有些兴奋,如果唐缺真的舍得出钱,那他也能真的研究。

这在方面,他还是有一定自信的。

关键是,试验设备要好。

唐缺摇了摇头:“不。”

在传统的光刻技术中,镜头与光刻胶之间的介质是空气,台积电林姓教授提出的方法就是在光刻胶上方加一层水,利用光通过液体介质后波长缩短来提高分辨率。

这个方法后来被称为“浸没式光刻”,采用这种方法,能够在不改变光刻机波长的情况下,利用193nm的波长做出等效134nm的波长,直接越过157nm波长。

更高效。

只是,想法很简单。

但要解决的技术问题是,光刻胶上方的这一层水,不能污染光刻胶,也不能污染芯片。

黄权坚有些不解:“不研究157nm,研究193nm以上的话,可算不上最先进。”

唐缺笑着道:“教授,你听说过浸没式吗?”

唐缺简单讲了讲原理。

黄权坚看着唐缺,眼神里是无比的惊奇,唐缺竟然懂,而且是很懂。

根本不像是一个文学系的学生。

他听了唐缺的方案,神色激动:“妙啊。只用现在最先进193nm光源设备改进,相比于157nm,能降低不少的成本,可行。”

唐缺道:“你准备演讲稿,七月份参加布鲁塞尔微影技术研讨会上演讲。”

黄权坚觉得弄不到这个资格:“那都是相关的大厂,或者顶级的教授才能做演讲吧。”

唐缺一笑:“你只管演讲稿,剩下的我来搞定。”

他已经有了一个大概的方案。

能让黄权坚上台演讲。

然后,代替台积电,拿到和阿斯麦合作的权利,最差,也要和台积电,阿斯麦,三家合作。

这样,光刻机的限制,也就不攻自破了,以后不会被卡脖子。

而且,浸没式的方案,只是暂时的,领先不了多少年。

深紫外线,duv,终究不如极紫外线,也就是euv。

等拿到和阿斯麦的合作协议之后,下一步就是自研euv光刻机。

当然,这需要一个过程。

不能太慢。

但也急不得。

“我这就去做方案。”黄权坚双眼发亮动力满满,这就要投入工作。

“去吧。”

黄权坚做技术,而唐缺,则是想着怎么外联。

他记得,那个林姓教授,有了浸没式的方案之后,尽力游说好几个半导体巨头,都没有什么撑过,被拒绝了。

如果自己现在提出合作,估计并不难。

“等黄教授做出方案,立刻联系那个林姓教授。”唐缺暗暗盘算。

他相信,现在林姓教授,也在做着浸没式的方案,不过秘而不宣而已。

只要自己提前一步拿出来,肯定能镇住他。

光学定理就在那里,其实能想出来这一点,利用水折射的,肯定不在少数。

只不过怎么形成方案,又怎么往下走,很多人就不会往下思考。

只是略微想一想,水对光刻胶,对晶圆有污染,觉得不可能利用浸没式做芯片,就停止了。

先是敢想,然后有问题,解决问题,才是正确的处理方式。

连想都不敢想,还做个屁啊。

就像浸没式,略微一想,觉得不可能,再想一想,解决了晶圆可能被污染问题,不就成了吗?

——

唐缺没想到阮市长的出招,竟然那么快。

这边黄权坚的方案才刚刚开始做,那边阮市长就发难了。

不是关于大学城。

而是从游戏入手。

阮市长依然假大空,冠冕堂皇。

“我们不要只关注利益,也要关注游戏给我们带来的负面作用。像《传奇》这样的游戏,给我们带来了巨额的税收,这未必是好事。”

在阮市长的主持下,文化相关部门开始严查游戏,特别是唐缺的《传奇》。

可惜,宋刚已经调到了旅游局,不在文化部门了,帮不上忙。

唐缺也怒了:“这哥们真是不想好啊。”

寻觅书屋推荐阅读:开局10亿美元,全凭我自己努力开局成了二姐夫我们的灵魂被交换了女神的上门豪婿灵气复苏:我能召唤铠甲极品修真强少执掌风云超能进化,我的女神军团!诸天镜仙奶爸兵王荒野建造之理想乡女神的战神狂婿超级奶爸,我被巨星天后绑架了夜深人静的雨声落日佣兵且以诗酒试风华和高冷女教师领证,全校都惊了我就一个押钞员,你让我做大佬?虚假广告成真,惨大了吧?!华娱:从小导演开始盛妆山河帝师狂婿执掌龙宫魂穿60之大茂的得意人生我的26个变态女客户重孙女被欺负,我闹个鬼不过分吧一介废人如何逆袭成神!十界战纪东京非日常修真柔弱师姐,霸道师弟我引以为傲的人生我的网恋对象是明星官欲道极乐庄主丽娘传这么有钱,你不早说诸天混战:快跑!地球疯子们来了无尽列车之终极王座别报名了,我真的教不过来!官场:踏踏实实千实事,升迁不断我每转十个外挂,阁下如何应对?妖魔当道,吾当横刀立马奶爸:人在大学,被校花女神堵门千金被无情赶出豪门,转身下乡了下庄生活玩个游戏,她们叫我负责?穿书八零团宠是锦鲤男人五十召唤兽难养?他怎么全是传说级!分班第一天,暗恋校花主动来找我美女的透视保镖
寻觅书屋搜藏榜:上班第一年,我被女总裁倒追从小村长到首富宠妻无度:腹黑摄政王重生太粘人秀才相公港综:重生港岛,我是船王接班人直播种田:我在古代给祖国寄古董娇妻出逃,骗婚总裁太难缠捡个王爷过日子女神的贴身男秘娱乐:全网求我出道绝世吸血女王离婚日记逆天败家系统我怎么穿越到了思密达妻子的秘密(微风)全民转职:我靠被动技能成法神妖妻在上:冥少心尖宠节目组失联,荒岛直播逆转人设让你唱跳,你披上紫袍雷法万岁?群穿明末之荒海平波纪未婚夫死后我嫁给了他的分身权御山河农门娇娘有空间年少有为蜜谋已久财富万亿,师姐帮我追老婆开局操作蝙蝠侠银川大陆之峰雪天下我那上了年纪的女明星女友夫人她又出来赚钱搞事业了年代文炮灰女配养崽崽美味良缘斗罗之我才是真正的气运之子上课了单身狗拐个战神当夫君都市至尊宝四合院之何雨柱轮回从51年开始嫡嫁徒儿,下山祸害你师娘去吧我真不想做主角啊学霸逆袭,超级甜!女神的贴身男秘华娱之闪耀巨星惊!暴君的团宠崽崽是天道亲闺女半夏田园霸道俏小妞猪头吃定你我的明星师妹一世契约四合院:我有人工智能绝品村医
寻觅书屋最新小说:御兽,蛇君思君不过二年春刀锋上的磨练重新焕发的青春一键合成神物,我在乱世只手遮天上交重生机密,亡国奴变华夏武神娃娃亲校花超纯爱,骗我去领证抗战之太行山溜子离开你之后,原来我这么受欢迎的万般道路于一身,终将登顶巅峰我,纯阳神体,只想斩妖除魔!把柄在手,太太们抢做我朋友DNA的改造人生抗战之兵王突击权路相争穿越六零,我从十六岁开始养家人在蓝星,潘驴邓小闲末法纷乱录我与清冷校花的重启人生身怀异能闯四方官场巅峰王者重振都市之医尊传奇枫先生的梦重生都市之辉煌人生一个中医,不看医书,看上兵法了下凡修仙的天帅航海:我路飞,实力被曝光了!蒹葭苍苍,仙帝飞扬六零年代,采购员的悠闲生活人类灭绝前,十四世界共同抗击!高武:一枪独尊一章一个现代故事只要不读书,干啥都能拿第一是吧IT江湖风云录古武者制造煤气罐,成了军火王无穹星空都市高武:我灭敌就有奖励我的血族女友过分可爱辅导员的风流人生全面通缉开局契约绝美校长,我被全校追杀红龙特工,我为华夏而战重生82:傻子守村人的赶山生涯开局拐天仙,列强竟是我自己巍然712分手后女总裁非要嫁给我刚想艺考你说我跑了半辈子龙套?樱花树下的约定了迟来的温暖母爱